Прецизионная керамика: ключ к решению проблемы “застревания” в полупроводниковой промышленности нашей страны! 

Полупроводниковая промышленность является стратегической отраслью, связанной с экономикой, политикой, национальной обороной и безопасностью страны. В полупроводниковой промышленности производственное оборудование занимает чрезвычайно важное стратегическое положение. Ключевое полупроводниковое оборудование, представленное литографической машиной, является высокоинтегрированным продуктом современной технологии, а его дизайн и производственный процесс могут соответствовать высочайшему уровню во многих смежных областях науки, включая материалы и механическую обработку. Например, что касается материалов, то для ключевого оборудования для производства полупроводников требуются такие характеристики компонентов, как малый вес и высокая прочность, высокая теплопроводность и низкий коэффициент теплового расширения, а также плотность, однородность и отсутствие дефектов. Среди них прецизионная керамика является наиболее представительным материалом для прецизионных полупроводниковых компонентов. Полупроводниковые детали относятся к деталям, которые отвечают требованиям полупроводникового оборудования и технологий с точки зрения материалов, структуры, технологии, качества и точности, надежности и стабильности, таким как уплотнительные кольца, передающие модули, радиочастотные источники питания, электростатические присоски, кольца из кремния/карбида кремния, вакуумные насосы, расход газа счетчики, прецизионные подшипники, газовые разбрызгиватели и т.д. Полупроводниковое оборудование состоит из тысяч деталей и комплектующих. Производительность, качество и точность деталей напрямую определяют надежность и стабильность работы оборудования, а также являются ключевым базовым элементом для того, чтобы наша страна совершила прорыв в области производства полупроводников. В зависимости от основных материалов и функций полупроводниковых деталей их можно разделить на двенадцать категорий, включая детали из кремния/ карбида кремния, кварцевые детали, керамические детали, металлические детали, графитовые детали, пластиковые детали, вакуумные детали, уплотнения, фильтрующие детали, движущиеся части, электронные элементы управления и другие детали.